Determinação da espessura de filmes finos e ultrafinos poliméricos pela técnica de explosão coulombiana

• Autor(a) principal: Pezzin, Leonardo Kramer
• Data de Publicação: 2023
• Tipo de documento: Trabalho de conclusão de curso
• Idioma: por
• Título da fonte: Repositório Institucional da UFRGS
• Texto Completo: http://hdl.handle.net/10183/268196
• topic: Filmes finos; Polimetil metacrilato; Espalhamento de íons de energia intermediaria

O presente trabalho tem por objetivo determinar a espessura de filmes finos e ultrafinos poliméricos de polimetilmetacrilato (PMMA) utilizando a técnica de Medium Energy Ion Scattering (MEIS) através da explosão coulombiana. A técnica MEIS utiliza o tempo de separação entre fragmentos de íons incidentes separados pela explosão coulombiana para determinar a espessura e a densidade de um filme fino. É importante determinar a espessura do filme, uma vez que é ela que define diversas de suas propriedades e utilidades. A inovação deste trabalho está na proposta de medição da espessura e densidade de filmes poliméricos por MEIS, pois outras técnicas utilizadas na literatura não são capazes de determinar a densidade, assumindo a priori que a densidade do filme é homogênea ao longo de toda a superfície, o que não condiz com a realidade. A técnica se mostra eficaz ao estimar com boa exatidão a espessura de cinco filmes finos diferentes de PMMA sobre uma camada fina de ouro depositada sobre óxido de silício produzidos a partir da técnica de spin-coating. A técnica de explosão coulombiana foi comparada com técnicas já consolidadas no campo de análise de nanomaterias como Rutherford Backscaterring Spectroscopy e Atomic Force Microscopy e se mostrou uma ferramenta adequada.