Filmes finos de TiC/Al Produzidos por Magnetron Sputtering para aplicação em coletores solares
Autor(a) principal: | |
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Data de Publicação: | 2012 |
Tipo de documento: | Trabalho de conclusão de curso |
Idioma: | por |
Título da fonte: | Repositório Institucional da UFRJ |
Texto Completo: | http://hdl.handle.net/11422/8916 |
Resumo: | Este trabalho trata da deposição de filmes finos refletivos de alta dureza para aplicação em coletores solares. Os filmes foram produzidos por magnetron sputtering, utilizando alvos de alumínio e carbeto de titânio, onde ambos os componentes são depositados concomitantemente sobre os substratos. A deposição simultânea foi realizada através da rotação do suporte de substratos, que os imergia alternadamente nos plasmas dos diferentes alvos; a velocidade de rotação foi ajustada de forma a garantir que uma quantidade de material inferior a uma camada atômica fosse depositada a cada ciclo, possibilitando uma deposição homogênea dos componentes ao longo da espessura do filme. Os filmes depositados foram analisados via microscopia eletrônica de varredura, espectroscopia de energia dispersiva de Raios X, microscopia eletrônica de transmissão, microscopia de força atômica, perfilometria de contato, nanodureza Berkovich, difração de Raios X rasantes e espectrometria na região do infravermelho e do ultravioleta/visível. Os resultados das análises apontam tendências inversas entre a reflectividade e a nanodureza de acordo com a variação da proporção Al/TiC, e sugerem que a combinação destes componentes apresenta propriedades satisfatórias à produção de superfícies refletivas solares. |
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Alencastro, Felipe SampaioAchete, Carlos AlbertoCamargo Junior, Sérgio Alvaro de SouzaSantos Junior, EmanuelSimão, Renata Antoun2019-07-30T14:19:27Z2023-11-30T03:01:07Z2012-02http://hdl.handle.net/11422/8916Submitted by Moreno Barros (moreno@ct.ufrj.br) on 2019-05-24T17:55:44Z No. of bitstreams: 1 monopoli10004484.pdf: 9192106 bytes, checksum: b8044c5da2f68a300281f6e1b0add1f5 (MD5)Approved for entry into archive by Moreno Barros (moreno@ct.ufrj.br) on 2019-07-30T14:19:27Z (GMT) No. of bitstreams: 1 monopoli10004484.pdf: 9192106 bytes, checksum: b8044c5da2f68a300281f6e1b0add1f5 (MD5)Made available in DSpace on 2019-07-30T14:19:27Z (GMT). No. of bitstreams: 1 monopoli10004484.pdf: 9192106 bytes, checksum: b8044c5da2f68a300281f6e1b0add1f5 (MD5) Previous issue date: 2012-02Este trabalho trata da deposição de filmes finos refletivos de alta dureza para aplicação em coletores solares. Os filmes foram produzidos por magnetron sputtering, utilizando alvos de alumínio e carbeto de titânio, onde ambos os componentes são depositados concomitantemente sobre os substratos. A deposição simultânea foi realizada através da rotação do suporte de substratos, que os imergia alternadamente nos plasmas dos diferentes alvos; a velocidade de rotação foi ajustada de forma a garantir que uma quantidade de material inferior a uma camada atômica fosse depositada a cada ciclo, possibilitando uma deposição homogênea dos componentes ao longo da espessura do filme. Os filmes depositados foram analisados via microscopia eletrônica de varredura, espectroscopia de energia dispersiva de Raios X, microscopia eletrônica de transmissão, microscopia de força atômica, perfilometria de contato, nanodureza Berkovich, difração de Raios X rasantes e espectrometria na região do infravermelho e do ultravioleta/visível. Os resultados das análises apontam tendências inversas entre a reflectividade e a nanodureza de acordo com a variação da proporção Al/TiC, e sugerem que a combinação destes componentes apresenta propriedades satisfatórias à produção de superfícies refletivas solares.porUniversidade Federal do Rio de JaneiroUFRJBrasilEscola PolitécnicaCNPQ::ENGENHARIAS::ENGENHARIA DE MATERIAIS E METALURGICASuperfícies refletivasMagnetron SputteringFilmes finos durosFilmes finos de TiC/Al Produzidos por Magnetron Sputtering para aplicação em coletores solaresinfo:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/bachelorThesisabertoinfo:eu-repo/semantics/openAccessreponame:Repositório Institucional da UFRJinstname:Universidade Federal do Rio de Janeiro (UFRJ)instacron:UFRJORIGINALmonopoli10004484.pdfmonopoli10004484.pdfapplication/pdf9192106http://pantheon.ufrj.br:80/bitstream/11422/8916/1/monopoli10004484.pdfb8044c5da2f68a300281f6e1b0add1f5MD51LICENSElicense.txtlicense.txttext/plain; charset=utf-81853http://pantheon.ufrj.br:80/bitstream/11422/8916/2/license.txtdd32849f2bfb22da963c3aac6e26e255MD5211422/89162023-11-30 00:01:07.508oai:pantheon.ufrj.br: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Repositório de PublicaçõesPUBhttp://www.pantheon.ufrj.br/oai/requestopendoar:2023-11-30T03:01:07Repositório Institucional da UFRJ - Universidade Federal do Rio de Janeiro (UFRJ)false |
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Este trabalho trata da deposição de filmes finos refletivos de alta dureza para aplicação em coletores solares. Os filmes foram produzidos por magnetron sputtering, utilizando alvos de alumínio e carbeto de titânio, onde ambos os componentes são depositados concomitantemente sobre os substratos. A deposição simultânea foi realizada através da rotação do suporte de substratos, que os imergia alternadamente nos plasmas dos diferentes alvos; a velocidade de rotação foi ajustada de forma a garantir que uma quantidade de material inferior a uma camada atômica fosse depositada a cada ciclo, possibilitando uma deposição homogênea dos componentes ao longo da espessura do filme. Os filmes depositados foram analisados via microscopia eletrônica de varredura, espectroscopia de energia dispersiva de Raios X, microscopia eletrônica de transmissão, microscopia de força atômica, perfilometria de contato, nanodureza Berkovich, difração de Raios X rasantes e espectrometria na região do infravermelho e do ultravioleta/visível. Os resultados das análises apontam tendências inversas entre a reflectividade e a nanodureza de acordo com a variação da proporção Al/TiC, e sugerem que a combinação destes componentes apresenta propriedades satisfatórias à produção de superfícies refletivas solares. |
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