Projeto, microfabricação e caracterização de defletor de luz de silicio acionado por indução

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Barbaroto, Pedro Ricardo
Data de Publicação: 2002
Tipo de documento: Dissertação
Idioma: por
Título da fonte: Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
Texto Completo: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1592448
Resumo: Orientadores : Ioshiaki Doi, Luiz Otavio Saraiva Ferreira
id UNICAMP-30_bacece1a7d001cddcf68c6435df7b235
oai_identifier_str oai::245351
network_acronym_str UNICAMP-30
network_name_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository_id_str
spelling Projeto, microfabricação e caracterização de defletor de luz de silicio acionado por induçãoScanner óticoDispositivos eletromecânicosLitografiaFotolitografiaIndução eletromagnéticaOrientadores : Ioshiaki Doi, Luiz Otavio Saraiva FerreiraDissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de ComputaçãoMestrado[s.n.]Doi, Ioshiaki, 1944-Ferreira, Luiz Otavio Saraiva, 1956-Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia Elétrica e de ComputaçãoPrograma de Pós-Graduação não informadoUNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINASBarbaroto, Pedro Ricardo2002info:eu-repo/semantics/publishedVersioninfo:eu-repo/semantics/masterThesisapplication/pdf86p. : il.(Broch.)https://hdl.handle.net/20.500.12733/1592448BARBAROTO, Pedro Ricardo. Projeto, microfabricação e caracterização de defletor de luz de silicio acionado por indução. 2002. 86p. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1592448. Acesso em: 2 set. 2024.https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/245351porreponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)instacron:UNICAMPinfo:eu-repo/semantics/openAccess2014-04-19T00:34:18Zoai::245351Biblioteca Digital de Teses e DissertaçõesPUBhttp://repositorio.unicamp.br/oai/tese/oai.aspsbubd@unicamp.bropendoar:2014-04-19T00:34:18Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)false
dc.title.none.fl_str_mv Projeto, microfabricação e caracterização de defletor de luz de silicio acionado por indução
title Projeto, microfabricação e caracterização de defletor de luz de silicio acionado por indução
spellingShingle Projeto, microfabricação e caracterização de defletor de luz de silicio acionado por indução
Barbaroto, Pedro Ricardo
Scanner ótico
Dispositivos eletromecânicos
Litografia
Fotolitografia
Indução eletromagnética
title_short Projeto, microfabricação e caracterização de defletor de luz de silicio acionado por indução
title_full Projeto, microfabricação e caracterização de defletor de luz de silicio acionado por indução
title_fullStr Projeto, microfabricação e caracterização de defletor de luz de silicio acionado por indução
title_full_unstemmed Projeto, microfabricação e caracterização de defletor de luz de silicio acionado por indução
title_sort Projeto, microfabricação e caracterização de defletor de luz de silicio acionado por indução
author Barbaroto, Pedro Ricardo
author_facet Barbaroto, Pedro Ricardo
author_role author
dc.contributor.none.fl_str_mv Doi, Ioshiaki, 1944-
Ferreira, Luiz Otavio Saraiva, 1956-
Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação
Programa de Pós-Graduação não informado
UNIVERSIDADE ESTADUAL DE CAMPINAS
dc.contributor.author.fl_str_mv Barbaroto, Pedro Ricardo
dc.subject.por.fl_str_mv Scanner ótico
Dispositivos eletromecânicos
Litografia
Fotolitografia
Indução eletromagnética
topic Scanner ótico
Dispositivos eletromecânicos
Litografia
Fotolitografia
Indução eletromagnética
description Orientadores : Ioshiaki Doi, Luiz Otavio Saraiva Ferreira
publishDate 2002
dc.date.none.fl_str_mv 2002
dc.type.status.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/publishedVersion
dc.type.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/masterThesis
format masterThesis
status_str publishedVersion
dc.identifier.uri.fl_str_mv (Broch.)
https://hdl.handle.net/20.500.12733/1592448
BARBAROTO, Pedro Ricardo. Projeto, microfabricação e caracterização de defletor de luz de silicio acionado por indução. 2002. 86p. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1592448. Acesso em: 2 set. 2024.
identifier_str_mv (Broch.)
BARBAROTO, Pedro Ricardo. Projeto, microfabricação e caracterização de defletor de luz de silicio acionado por indução. 2002. 86p. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação, Campinas, SP. Disponível em: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1592448. Acesso em: 2 set. 2024.
url https://hdl.handle.net/20.500.12733/1592448
dc.language.iso.fl_str_mv por
language por
dc.relation.none.fl_str_mv https://repositorio.unicamp.br/acervo/detalhe/245351
dc.rights.driver.fl_str_mv info:eu-repo/semantics/openAccess
eu_rights_str_mv openAccess
dc.format.none.fl_str_mv application/pdf
86p. : il.
dc.publisher.none.fl_str_mv [s.n.]
publisher.none.fl_str_mv [s.n.]
dc.source.none.fl_str_mv reponame:Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instname:Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron:UNICAMP
instname_str Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
instacron_str UNICAMP
institution UNICAMP
reponame_str Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
collection Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository.name.fl_str_mv Biblioteca Digital de Teses e Dissertações da Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP) - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP)
repository.mail.fl_str_mv sbubd@unicamp.br
_version_ 1809188871350517760

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