Nitretação de filmes de SiO2 sobre SiC

Detalhes bibliográficos
Autor(a) principal: Radtke, Claudio
Data de Publicação: 1999
Outros Autores: Stedile, Fernanda Chiarello
Tipo de documento: Artigo de conferência
Idioma: por
Título da fonte: Repositório Institucional da UFRGS
Texto Completo: http://hdl.handle.net/10183/85563
Resumo: 123
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